Математические модели управления процессами в тонких аэродинамических слоях при производстве изделий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальности 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ, 05.13.01 Системный анализ, управление и обработка информации (пищевая и химическая промышленность) / Абрамов Геннадий Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Абрамов, Г. В. |
| Опубликовано: | Воронеж , 2001 |
| Физические характеристики: |
32 с. : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||