Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда: Дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук: 05.27.06: 19.04.2001: 27.06.2001 / Грунский Дмитрий Игоревич
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Грунский, Д. И. |
| Published: | Мн. , 2001 |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ диссертаций
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||