Материалы и процессы формирования многослойных металлизации кремниевых СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Громов Дмитрий Геннадьевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Громов, Д. Г. |
| 出版: | М. , 2000 |
| 實物描述: |
40 с.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||