Материалы и процессы формирования многослойных металлизации кремниевых СБИС: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра техн. наук: 05.27.06 / Громов Дмитрий Геннадьевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Громов, Д. Г. |
| Veröffentlicht: | М. , 2000 |
| Beschreibung: |
40 с.
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||