
Синтез пленок карбида кремния из газовой фазы метилсилана: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: 02.00.04 / Карами Юсеф
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Автор: | Карами, Ю. |
Опубликовано: | СПб. , 2000 |
Физические характеристики: |
17 с.
|
Язык: | Русский |
Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|