Исследование и разработка конструкций и технологий создания тонкопленочных туннельных металл-диэлектрик-металл структур для криоэлектронных компонентов интегральных микросхем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.18 Твердотельная электроника и интегральная схемотехника, включая материалы, технологию и специальное оборудование / Лыньков Леонид Михайлович
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Лыньков, Л. М. (род. 1949) |
| Publicado: | Минск , 1980 |
| Descripción Física: |
23, [1] с. : ил., табл.
|
| Lenguaje: | Русский |
| Materias: | |
| Acceso en línea: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Disponible Hacer reserva | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||