Исследование и разработка методов контроля электрофизических параметров многослойных структур на различных этапах производства интегральных схем: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.12.11 Полупроводниковые и микроэлектронные приборы и технология их производства / Буйко Лев Дмитриевич
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| 1. Verfasser: | Буйко, Л. Д. |
| Veröffentlicht: | Минск , 1977 |
| Beschreibung: |
20 с., включая обложку
|
| Sprache: | Русский |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: |
E-документ
|
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||