Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. Ч. 4 : Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами: методическое пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технологии микросхем", "Современные технологические процессы в производстве БИС и СБИС" для специальностей 0705, 0648 / С. В. Грушецкий, А. П. Достанко
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 出版: | 1981 |
| 實物描述: |
49 c. : ил., табл.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | 可用 預訂 | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||