Современные технологические процессы в микроэлектронике / Министерство высшего и среднего специального образования БССР, Минский радиотехнический институт, Кафедра технологии радиоэлектронной аппаратуры. Ч. 4 : Получение конфигурации элементов интегральных схем плазменными методами: методическое пособие по курсам "Технология микросхем и элементов ЭВА", "Конструкции и технологии микросхем", "Современные технологические процессы в производстве БИС и СБИС" для специальностей 0705, 0648 / С. В. Грушецкий, А. П. Достанко
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | 1981 |
| Opis fizyczny: |
49 c. : ил., табл.
|
| Język: | Русский |
| Hasła przedmiotowe: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 3 , доступно: 3 | Dostępne Zamów | ||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||||||||||||