Влияние ловушек на пространственно-временное распределение ионов при низкоэнергетической имплантации
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Порфирьев, С. В. |
| Опубликовано: | Киев , 1993 |
| Физические характеристики: |
8 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препр.
КИЯИ-93-6 |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||