Получение особо чистых триметилалкоксиланов для микроэлектроники: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. хим. наук: 02.00.19 / Гос. НИИ хим. реактивов и особо чистых хим. веществ
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Трохин, В. Е. |
| Опубликовано: | М. , 1993 |
| Физические характеристики: |
21 с.
|
| Язык: | Русский |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||