Исследование и разработка технологии химической очистки пластин кремния для МЭМС и интегральных схем субмикронного уровня: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: 05.27.06 / Терашкевич Игорь Макарович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Терашкевич, И. М. |
| Опубликовано: | Москва , 2006 |
| Физические характеристики: |
25 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||