Исследование реактивного ионного травления как метода создания элементов оптоэлектронных устройств: Автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 / Рос. АН, Физ.-техн. ин-т им. А.Ф.Иоффе
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Дулькин, А. Е. |
| Апублікавана: | СПб. , 1993 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
18 с.
|
| Мова: | Руская |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||