Оптические методы диагностики ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Акулич, Е. С. |
| Опубликовано: | Мн. : Ин-т математики , 1999 |
| Физические характеристики: |
20 с.
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Препринт
N 3(552) |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 2 , доступно: 2 | Доступно Заказать | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
||||||||||||||||