Технология многослойных структур для микроэлектроники: Разд.: Терм. и электролит. методы получения оксид. пленок: Курс лекций для студентов спец.20.02 / В. В. Овчинников, А. С. Тимошин, В. В. Крапухин
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Овчинников, В. В. |
| Publié: | М. , 1992 |
| Description matérielle: |
88 с.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||