Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Козлов Андрей Андреевич

Сохранено в:
Шифр документа: 2//260061(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Козлов, А. А.
Опубликовано: Пермь , 2024
Физические характеристики: 23 с., включая обложку : ил.
Язык: Русский
Предмет:
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
НИОБАТ ЛИТИЯ
РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
ПЛАЗМА (физ.)
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА
ГАЗОВЫЕ СМЕСИ
ИНДУКЦИЯ (физ.)
СКОРОСТЬ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
РОСТ КРИСТАЛЛОВ
ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001946130
005 20241228101158.0
100 # # $a 20241016d2024 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук  $e специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния  $f Козлов Андрей Андреевич  $g [место защиты:] Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Пермский государственный национальный исследовательский университет" 
210 # # $a Пермь  $d 2024 
215 # # $a 23 с., включая обложку  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 20―23 
606 0 # $3 BY-NLB-ar3130678  $a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34175  $a ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2384640  $a НИОБАТ ЛИТИЯ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar9985290  $a РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar23641  $a ПЛАЗМА (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar36799  $a ХИМИЧЕСКАЯ КИНЕТИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar6756  $a ГАЗОВЫЕ СМЕСИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2113456  $a ИНДУКЦИЯ (физ.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar13410324  $a СКОРОСТЬ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКЦИЙ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar34161  $a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar28578  $a РОСТ КРИСТАЛЛОВ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar22676  $a ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)  $2 DVNLB 
686 # # $a 1.3.8  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.16  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.25  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 31.15.27  $v 6  $2 rugasnti 
686 # # $a 29.27.43  $v 6  $2 rugasnti 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar14822809  $a Козлов  $b А. А.  $g Андрей Андреевич 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20241016  $g RCR 

Схожие документы