Физико-химические особенности кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.8 Физика конденсированного состояния / Козлов Андрей Андреевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Козлов, А. А. |
| Опубликовано: | Пермь , 2024 |
| Физические характеристики: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||