Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 2.2.3 Технология и оборудование для производства материалов и приборов электронной техники / Заиченко Александр Николаевич
Сохранено в:
| 格式: | |
|---|---|
| 主要作者: | Заиченко, А. Н. |
| 出版: | Таганрог , 2023 |
| 實物描述: |
23 с., включая обложку : ил.
|
| 語言: | Русский |
| 主題: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | 可用 預訂 | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||