Теоретическое и экспериментальное исследование микросферной фотолитографии на подложках кремния для селективной эпитаксии полупроводниковых структур: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 1.3.2 (01.04.01) Приборы и методы экспериментальной физики / Дворецкая Лилия Николаевна
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Дворецкая, Л. Н. |
| Апублікавана: | Санкт-Петербург , 2022 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
20 с. : ил.
|
| Мова: | Руская |
| Прадмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||