|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001708613 |
| 005 |
20211027143935.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20210723d2021 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
$e специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния
$f Голованов Антон Владимирович
$g [Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва ; Троицк
$d 2021
|
| 215 |
# |
# |
$a 23 с.
$c табл., ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 20—23
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3130678
$a ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННЫХ СРЕД
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar1658634
$a ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2207
$a АЛМАЗЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18028
$a МЕТАЛЛЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5236997
$a ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3128229
$a ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar6836
$a ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ПЛАЗМА
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.03
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.31
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.19.16
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 29.27.51
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 01.04.07
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar14038095
$a Голованов
$b А. В.
$g Антон Владимирович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20210723
$g RCR
|
