Травление планарных структур "алмаз-металл" и "алмаз-диэлектрик" высокочастотным газовым разрядом низкого давления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.07 Физика конденсированного состояния / Голованов Антон Владимирович
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Голованов, А. В. |
| Опубликовано: | Москва ; Троицк , 2021 |
| Физические характеристики: |
23 с. : табл., ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||