Пленочные диэлектрики в микроэлектронике: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1969―1977 гг.) / [В. Г. Красов]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Красов, В. Г. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1978 |
| Физические характеристики: |
59 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1978, вып. 6 |
1978, Вып.6: Пленочные диэлектрики в микроэлектронике
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||