|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001467754 |
| 005 |
20180504152306.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180504d1988 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Рентгенолитография в производстве СБИС
$e (по данным отечественной и зарубежной печати за 1983―1987 гг.)
$f В. И. Акифьев, Н. В. Гревцев, А. Л. Гриценко
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1988
|
| 215 |
# |
# |
$a 72, [1] с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 7
$i Технология, организация производства и оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1988, вып. 10
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 65―75 (108 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$a 2100 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br119311
$1 2001
$v 1988, вып. 10
|
| 700 |
# |
1 |
$a Акифьев
$b В. Ю.
$g Виктор Юрьевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гревцев
$b Н. В.
$g Николай Васильевич
|
| 701 |
# |
1 |
$a Гриценко
$b А. Л.
$g Анатолий Лукьянович
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20180504
$g psbo
|
