Рентгенолитография в производстве СБИС: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1983―1987 гг.) / В. И. Акифьев, Н. В. Гревцев, А. Л. Гриценко
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Акифьев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1988 |
| Физические характеристики: |
72, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1988, вып. 10 |
1988, Вып.10: Рентгенолитография в производстве СБИС / Акифьев В. Ю.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||