Проблемы микроэлектронной технологии: [сборник статей] / главный редактор К. А. Валиев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Опубликовано: | Москва : Наука , 1994 |
| Физические характеристики: |
75, [3] с. : граф., ил., схемы, табл. ; 24 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Труды ФТИАН
т. 7 |
1994, Т.7: Проблемы микроэлектронной технологии
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||