Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: специальность 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий / Рябышенков Андрей Сергеевич
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Рябышенков, А. С. |
| Publié: | Москва , 2018 |
| Description matérielle: |
46 с. : ил.
|
| Langue: | Русский |
| Sujets: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||