Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем / Л. Ф. Ронская, Е. А. Бродянский, В. Д. Скубриев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ронская, Л. Ф. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
124, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 3 |
Загрузка