Очистка поверхности полупроводниковых пластин в производстве интегральных схем / Л. Ф. Ронская, Е. А. Бродянский, В. Д. Скубриев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Ронская, Л. Ф. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1971 |
| Физические характеристики: |
124, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1971, вып. 3 |
1971, Вып.3: Очистка поверхности полупроводниковых пластин... / Ронская Л. Ф.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||