|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001443689 |
| 005 |
20180124085228.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20180124d1992 y0rusy50 ||||ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Травление и осаждение слоев с помощью химически активных частиц, создаваемых в плазме, отделенной от зоны обработки
$f В. И. Кузнецов
$g [научный редактор В. Ю. Киреев]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c ЦНИИ "Электроника"
$d 1992
|
| 215 |
# |
# |
$a 105 с.
$c ил.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Обзоры по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v 1992, вып. 2
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 97―105 (75 назв.)
|
| 345 |
# |
# |
$9 310 экз.
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br78454
$1 2001
$v 1992, вып. 2
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-ar9326611
$a Кузнецов
$b В. И.
|
| 702 |
# |
1 |
$a Киреев
$b В. Ю.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20170403
$g psbo
|
