Травление и осаждение слоев с помощью химически активных частиц, создаваемых в плазме, отделенной от зоны обработки / В. И. Кузнецов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Кузнецов, В. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1992 |
| Физические характеристики: |
105 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1992, вып. 2 |
1992, Вып.2: Травление и осаждение слоев с помощью... / Кузнецов В. И.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||