Многослойные пленки резисторов в микролитографии: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1985 гг.) / Ю. С. Боков, В. М. Фролов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Боков, Ю. С. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1985 |
| Физические характеристики: |
63 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1985, вып. 3 |
1985, Вып.3: Многослойные пленки резистов... / Боков Ю. С., Фролов В. М.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||