Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1976―1981 гг.) / [составитель А. В. Дубравина]
Сохранено в:
Вид документа: | |
---|---|
Опубликовано: | Москва : Электроника , 1982 |
Физические характеристики: |
28, [2] с. ; 22 см
|
Язык: | Русский |
Серия: |
Тематические указатели литературы
вып. 2 (333) |
1982, Вып.2: Низкотемпературная плазма и ее применение в производстве ИЭТ
Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|