Плазмохимические процессы в микроэлектронике / [составители: Л. А. Бунькова, Л. В. Куратова
Gespeichert in:
| Format: | |
|---|---|
| Veröffentlicht: | Москва : Электроника , 1978 |
| Beschreibung: |
37, [1] с. ; 21 см
|
| Sprache: | Русский |
| Schriftenreihe: |
Тематические указатели литературы
вып. 4 (229) |
1978, Вып.4: Плазмохимические процессы в микроэлектронике
| Всего : 1 , доступно: 1 | Verfügbar Bestellen | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||