|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001432433 |
| 005 |
20171129154002.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20171129d1974 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a y ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем
$f составитель Р. А. Карпович
$g [редактор Л. И. Чечко]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1974
|
| 215 |
# |
# |
$a 110, [1] с.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тематические указатели литературы
$i Серия: Технология, организация производства. Оборудование
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 6 (94)
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br0000319434
$1 2001
$v Вып. 6
|
| 702 |
# |
1 |
$a Карпович
$b Р. А.
$4 220
|
| 702 |
# |
1 |
$a Чечко
$b Л. И.
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171124
$g psbo
|
