Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве интегральных схем / составитель Р. А. Карпович
Zapisane w:
| Format: | |
|---|---|
| Wydane: | Москва : Электроника , 1974 |
| Opis fizyczny: |
110, [1] с. ; 21 см
|
| Język: | Русский |
| Seria: |
Тематические указатели литературы
вып. 6 (94) |
1974, Вып.6: Фото-, электроно- и рентгенолитография в производстве...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Dostępne Zamów | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||