|
|
|
|
|
00000cam2a22000003is4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001431228 |
| 005 |
20171124133419.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20171124d1976 |||y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a SU
|
| 105 |
# |
# |
$a a ||||000yy
|
| 200 |
1 |
# |
$a Электронная литография и ее применение в микроэлектронике
$e (материалы Всесоюзной научно-технической конференции, 23―24 октября 1975 г., г. Москва)
$e [сборник статей
$f под редакцией Г. Х. Сатарова]
|
| 210 |
# |
# |
$a Москва
$c Электроника
$d 1976
|
| 215 |
# |
# |
$a 52, [1] с., включая обложку
$c граф., схемы, табл.
$d 21 см
|
| 225 |
1 |
# |
$a Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике
$h Серия 3
$i Микроэлектроника
$f Министерство электронной промышленности СССР
$v вып. 1 (53)
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография в конце статей
|
| 461 |
# |
1 |
$1 001BY-NLB-br77953
$1 2001
$v Вып. 1
|
| 702 |
# |
1 |
$a Сатаров
$b Г. Х.
$g Герман Хабирович
$4 340
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20171121
$g psbo
|
