Проекционная электронная литография: (аналитический обзор по материалам зарубежной научно-технической информации на конец 1972 г.) / В. М. Сутырин, Х. И. Фейгин
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Сутырин, В. М. |
| Publié: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1973 |
| Description matérielle: |
59 с. : ил. ; 21 см
|
| Langue: | Русский |
| Collection: |
Обзоры по электронной технике
1973, вып. 10 |
1973, №10: Проекционная электронная... / Сутырин В. М., Фейгин Х. И.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Réserver | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||