Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е. И. Верховский, Г. И. Епифанов

Сохранено в:
Шифр документа: 111863-23,
Вид документа: Периодические издания
Автор: Верховский, Е. И.
Опубликовано: Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1972
Физические характеристики: 23, [1] с. : ил. ; 21 см
Язык: Русский
Серия: Обзоры по электронной технике 1972, вып. 9
00000cam2a22000003is4500
001 BY-NLB-br0001376343
005 20170413132323.0
100 # # $a 20170413d1972 y0rusy50 ||||ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a ||||000yy 
200 1 # $a Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния  $f Е. И. Верховский, Г. И. Епифанов 
210 # # $a Москва  $c ЦНИИ "Электроника"  $d 1972 
215 # # $a 23, [1] с.  $c ил.  $d 21 см 
225 1 # $a Обзоры по электронной технике  $i Серия: Полупроводниковые приборы  $f Министерство электронной промышленности СССР  $v 1972, вып. 9 
320 # # $a Библиография: с. 21―23 (35 назв.) 
345 # # $9 1690 экз. 
461 # 1 $1 001BY-NLB-br78453  $1 2001   $v 1972, вып. 9 
700 # 1 $a Верховский  $b Е. И.  $g Евгений Ильич 
701 # 1 $a Епифанов  $b Г. И.  $g Георгий Иванович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20170413  $g psbo