Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния / Е. И. Верховский, Г. И. Епифанов
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Верховский, Е. И. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1972 |
| Физические характеристики: |
23, [1] с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1972, вып. 9 |
1972, №9: Внутренние напряжения... / Верховский Е. И., Епифанов Г. И.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||