Ионное ассистирование в процессах образования тонкопленочных структур на поверхности твердого тела: автореферат магистерской диссертации на соискание степени магистра техники и технологии: специальность 1-39 81 01
Enregistré dans:
| Format: | |
|---|---|
| Auteur principal: | Дятчик, А. Ю. |
| Publié: | Минск , 2015 |
| Description matérielle: |
8 с.
|
| Langue: | Русский |