Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной технологии: (реферативно-аналитический обзор) / [Е. Е. Качурина, Л. Н. Немировский, В. В. Щеглова]
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Качурина, Е. Е.. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1976 |
| Физические характеристики: |
66 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1976, вып. 9 |
1976, №9: Газофазная металлизация вольфрамом и молибденом в планарной...
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||