Проекционная электронная литография: (аналитический обзор) / [О. Т. Румов, В. М. Сутырин, Х. И. Фейгин]
Guardado en:
| Formato: | |
|---|---|
| Autor principal: | Румов, О. Т. |
| Publicado: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1979 |
| Descripción Física: |
55 с. : ил. ; 21 см
|
| Lenguaje: | Русский |
| Colección: |
Обзоры по электронной технике
1979, вып. 13 |
1979, №13: Проекционная электронная литография. Аналитический обзор
| Всего : 1 , доступно: 1 | Disponible Hacer reserva | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||