Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / В. Ю. Васильев
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Васильев, В. Ю. |
| Опубликовано: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990 |
| Физические характеристики: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Язык: | Русский |
| Серия: |
Обзоры по электронной технике
1990, вып. 3 |
1990, №3: Модели и механизмы процессов осаждения... / Васильев В. Ю.
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||