Модели и механизмы процессов осаждения тонких слоев из газовой фазы при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1975―1989 гг.) / В. Ю. Васильев
Захавана ў:
| Тып дакумента: | |
|---|---|
| Аўтар: | Васильев, В. Ю. |
| Апублікавана: | Москва : ЦНИИ "Электроника" , 1990 |
| Фізіч. характарыстыкі: |
56 с. : ил. ; 21 см
|
| Мова: | Руская |
| Серыя: |
Обзоры по электронной технике
1990, вып. 3 |
1990, №3: Модели и механизмы процессов осаждения... / Васильев В. Ю.
| Усяго : 1 , даступна: 1 | Даступна Замовіць | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||