Структурные и электрофизические свойства аморфных HfxAl1-xOy и сегнетоэлектрических HfxLa1-xOy, HfxZr1-xOy тонкопленочных оксидов, формируемых методом атомно-слоевого осаждения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: специальность 01.04.04 Физическая электроника / Черникова Анна Георгиевна
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Черникова, А. Г. |
| Опубликовано: | Долгопрудный , 2017 |
| Физические характеристики: |
22 с.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||