Разработка и исследование чувствительных элементов датчиков давления на основе структур "кремний на сапфире" с использованием лазерных технологий: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Буй Тхань Хай
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Буй, Т. Х. |
| Published: | Таганрог , 2017 |
| Physical Description: |
20 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: |
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||