|
|
|
|
|
00000cam0a2200000 ia4500 |
| 001 |
BY-NLB-br0001339898 |
| 005 |
20220412162004.0 |
| 100 |
# |
# |
$a 20161129d2016 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
# |
$a rus
|
| 102 |
# |
# |
$a RU
|
| 105 |
# |
# |
$a a m 000yy
|
| 109 |
# |
# |
$a ac
$a aa
|
| 200 |
1 |
# |
$a Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники
$e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
$e специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ
$f Горобчук Алексей Геннадьевич
$g [Институт вычислительных технологий Сибирского отделения Российской академии наук (ИВТ СО РАН)]
|
| 210 |
# |
# |
$a Новосибирск
$d 2016
|
| 215 |
# |
# |
$a 35 с.
$c табл., ил.
|
| 320 |
# |
# |
$a Библиография: с. 30—35
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar18370
$a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar34342
$a ТРАВЛЕНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar23669
$a ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar3269057
$a ОПТИМИЗАЦИЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПРОЦЕССОВ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar2113377
$a МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
$2 DVNLB
|
| 606 |
0 |
# |
$3 BY-NLB-ar5212187
$a ЧИСЛЕННЫЕ МОДЕЛИ
$2 DVNLB
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.11
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.13.33
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 47.01.77
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 27.41
$v 6
$2 rugasnti
|
| 686 |
# |
# |
$a 05.13.18
$2 oksvnk
|
| 700 |
# |
1 |
$3 BY-SEK-567900
$a Горобчук
$b А. Г.
$g Алексей Геннадьевич
$c кандидат физико-математических наук
|
| 801 |
# |
0 |
$a BY
$b BY-HM0000
$c 20161129
$g RCR
|
