Математическое моделирование плазмохимических технологий микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: специальность 05.13.18 Математическое моделирование, численные методы и комплексы программ / Горобчук Алексей Геннадьевич
Сохранено в:
| Вид документа: | |
|---|---|
| Автор: | Горобчук, А. Г. |
| Опубликовано: | Новосибирск , 2016 |
| Физические характеристики: |
35 с. : табл., ил.
|
| Язык: | Русский |
| Предмет: |
ОФХ отдела книгохранения
| Всего : 1 , доступно: 1 | Доступно Заказать | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||