Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Турцевич Аркадий Степанович
Saved in:
| Format: | |
|---|---|
| Main Author: | Турцевич, А. С. (род. 1958) |
| Published: | Минск , 2004 |
| Physical Description: |
26 с. : ил.
|
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| E-document: |
E-document
|
ОФХ отдела книгохранения
| All : 1 , available: 1 | Available Place a Hold | ||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|||||||||||