Физико-химические особенности формирования иерархических наноструктур для сенсорных элементов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Пронин Игорь Александрович

Сохранено в:
Шифр документа: 2//195561(039),
Вид документа: Авторефераты диссертаций
Автор: Пронин, И. А.
Опубликовано: Санкт-Петербург , 2015
Физические характеристики: 15 с. : ил.
Язык: Русский
Предмет:
00000cam0a2200000 ia4500
001 BY-NLB-br0001234208
005 20160127112933.0
100 # # $a 20151027d2015 k y0rusy50 ca 
101 0 # $a rus 
102 # # $a RU 
105 # # $a a m 000yy 
109 # # $a ac  $a aa 
200 1 # $a Физико-химические особенности формирования иерархических наноструктур для сенсорных элементов  $e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук  $e специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах  $f Пронин Игорь Александрович  $g [Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)] 
210 # # $a Санкт-Петербург  $d 2015 
215 # # $a 15 с.  $c ил. 
320 # # $a Библиография: с. 13—15 
606 0 # $3 BY-NLB-ar1811056  $a НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2665900  $a НАНОСТРУКТУРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2732138  $a ИЕРАРХИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (систем. анализ; кибернет.)  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar2496476  $a ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ  $2 DVNLB 
606 0 # $3 BY-NLB-ar35865  $a ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ  $2 DVNLB 
686 # # $a 05.27.06  $2 oksvnk 
686 # # $a 05.27.01  $2 oksvnk 
686 # # $a 29.19.22  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 29.19.31  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.29  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 47.09.48  $2 rugasnti  $v 6 
686 # # $a 59.35.29  $2 rugasnti  $v 6 
700 # 1 $3 BY-SEK-ar5234457  $a Пронин  $b И. А.  $g Игорь Александрович 
801 # 0 $a BY  $b BY-HM0000  $c 20151027  $g psbo